ポーラスチャックは高精度な吸着面を実現した真空吸着テーブルです。
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>> 応用事例
ダイシングソー
シリコンウェハーの切断や半導体パッケージ基板切断のための装置
グラインダー
シリコンウェハーを薄く平坦化研削するための装置
ポリッシャ
シリコンウェハーを鏡面研磨するための装置
テープマウンター
シリコンウェハーをフレームに装着する装置
顕微鏡、形状検査装置、輪郭形状検査装置、表面粗さ測定装置、レーザースクライビング装置など 負圧を利用したワーク固定の機構を持つ各種装置に利用されています。