ポーラスチャックは高精度な吸着面を実現した真空吸着テーブルです。
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応用事例

半導体関連装置

半導体製造装置関連

ダイシングソー シリコンウェハーの切断や半導体パッケージ基板切断のための装置
グラインダー シリコンウェハーを薄く平坦化研削するための装置
ポリッシャ シリコンウェハーを鏡面研磨するための装置
テープマウンター シリコンウェハーをフレームに装着する装置

各種検査機器

各種精密測定・検査機器

顕微鏡、形状検査装置、輪郭形状検査装置、表面粗さ測定装置、レーザースクライビング装置など 負圧を利用したワーク固定の機構を持つ各種装置に利用されています。

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