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使用用途

• （記入例）
• ・基板の外観検査用途
• ・シリコンウェハの研削用途

吸着するワークの情報

• （記入例）
• ・200×200ガラス基板　t=0.4
• ・8inchオリフラ付きシリコンウェハ　t=0.725

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