ポーラスチャックは高精度な吸着面を実現した真空吸着テーブルです。
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FAQ

ポーラスチャックに関するご質問一覧

下記にお客様の適当なQ&Aがない場合はこちらまたはお電話でお問い合わせください。

ポーラスチャックとはなんですか?

セラミックポーラスを金属にはめ込み、負圧を利用してワークを吸着固定するテーブルです。

セラミックポーラスとはなんですか?

セラミック多孔質焼結体のことでセラミック粒子を高温で焼き固めたものです。砥石をイメージしていただくとわかりやすいと思います。
通気性がありますのでこの性質を利用してフィルターやポーラスチャックの吸着面などに応用されています。

ポーラスを使用するメリットはなんですか?

薄いワークを変形させることなく、一様な負荷で全面吸着させることが可能です。

代表的なポーラスチャックの使用方法にはどのような方法がありますか?

半導体分野で多く使用されています。特にダイシングソー・ボンディングマシン・テープマウンターなどでシリコンウェハーを吸着固定する目的で使用されています。その他の分野でも、顕微鏡に搭載したり、検査機器などで使用されています。

どのような形状のものが作れますか?

丸は6 , 8 , 12inch、角はもちろん、それ以外のサイズや形状でも対応いたします。

ポーラスチャックの重さはどのくらいですか?

材質や形状によって変わってきますので一概に言うことは出来ませんが、参考値としてステンレスの場合をあげると 6 inch → 約2Kg、8 inch → 約3Kg、12 inch → 約8Kg 程度となります。

耐熱温度はどのくらいですか?

使用状況によって変わりますが、通常は60℃、耐熱タイプならば250℃程度まで使用可能です。

精度はどのくらいですか?

特に変わった形状や大きさではない場合、平面・平行度5μ以下まで可能です。ポーラスの径の大きさやボディの形状によっては平面・平行度3μ程度とすることも可能です。

ポーラス径よりも小さい搭載物の場合、吸着力はどうなりますか?

何も載っていない部分のポーラス表面から吸引がリークしてしまう為、吸着力は低下します。何も載っていない部分をマスキングするなどしてポーラス全てを覆う事でポーラスチャックの機能が有効になります。

仕様がきちんと決定していませんがよろしいですか?

「このような事がしたい」と教えていただければ、弊社から提案し図面作成も行い、お客様と一緒に作り上げていきます。

ポーラスチャックはどのようにして使うのですか?

[ポーラスチャック]+[真空発生器]+[コンプレッサー] or [ポーラスチャック]+[真空ポンプ]の順に接続して使用します。
当社では、手軽にポーラスチャックが扱えるように真空発生器を内蔵した”自立型ポーラスチャック”を開発いたしました。これを利用するとデスクの上に場所を取らずに置けるため手軽にワーク固定が行え、装置の取り回しも楽に行えるようになります。

図面を書くことができませんが相談に乗ってもらえますか?

ご心配ありません、当社スタッフがお客様からアイデアをインタビューしながらお客様の考えている”欲しいもの”を図面にしていきます。お客様はポンチ絵程度のものをご用意いただければ大丈夫です。

どのようなものの吸着に適していますか?

薄い平面形状の物の吸着に適しています。また、ワークを固定するのに機械的な機構を使用しない方法のため、ワークを固定冶具などで傷つけたくない場合などにも適しています。

ポーラスをポーラスチャック以外の用途に使用できますか?

当社へご相談ください。ポーラスチャック以外の用途でも加工やポーラス等のことでのご相談を承っております。

ポーラスチャックがどの程度有効なのかテストできますか?

サンプルを貸し出すことが可能です。お客様から事前にある程度感触をつかみたいというご要望が多く寄せられています。そのため、当社ではサンプルとしてポーラスチャックや真空発生装置の貸し出しを行っています。

回転させるものへの適用は可能ですか?

はい可能です。半導体分野ではシリコンウェハーを洗浄する装置などで使用されています。

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