・真空装置内臓のため、コンプレッサーひとつで吸着・吹き上げが可能
・机の上などで気軽にワークを固定できます
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従来のポーラスチャックは本体と真空発生装置、コンプレッサーが必要で実験や検査等で手軽にデスクの上でワークを吸着固定してみるということがなかなか出来ませんでした。
そこで吉岡精工では真空発生装置を内蔵したポーラスチャック(自立型ポーラスチャック:特許出願中 2003-294695)を開発いたしました。 |
これを用いれば本体とコンプレッサーのみでワークの吸着固定が出来るようになり、狭いデスクの上でも場所を取らずに実験や検査を手軽に行うことが出来るようになります。大きさ、形状、ポーラスの番手などはお客様の仕様にあわせて変更可能ですので当社までお問い合わせください。
・接着剤の影響による膨張・収縮が少ない
・ネジで締結しているため、外部環境の変化に対する精度変位が小さい
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従来ポーラスチャックはボディにポーラスを接着剤で貼り付けていますが、当社では接着剤の影響による膨張・伸縮の少なく、水・気温・湿度といった外部環境の変化に対して精度変位の少ないポーラスチャック(ネジ締結型ポーラスチャック:特許出願中
2003-419869)を開発いたしました。
外部環境の厳しい条件下で精度を求められる使い方をされるお客様に最適なポーラスチャックとなっています。 |
・全自動半導体構造装置（主にダイシングソー）に使用されるポーラスチャック
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全自動半導体製造装置(主にダイシングソー)に使用されるポーラスチャックです。"ウェハーの取り出し→アライメント→切断→洗浄/乾燥→ウェハーの収納"までの工程を全自動で行うタイプのダイシングソーなどで使用されます。
洗浄や乾燥工程でウェハーをポーラスチャックごと回転させるためポーラスチャック外周には余計な突起などは付いていません。 |
・耐久性のあるメタルポーラス
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ポーラス(多孔質体)にメインテナンスしやすく、耐久性のあるメタルポーラスを使用したポーラスチャックです。 |
・ポーラス部分を複数に分割したポーラスチャック
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一台のポーラスチャックでポーラス部分が複数に分割されているポーラスチャックです。 |
・主に半導体製造のボンディング工程で使用されるポーラスチャック
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ボンディング工程では高温での使用になるため、その環境に耐えられるよう製作されています｡ |
・300mmウェハー対応の大口径ポーラスチャック
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現在さらに大口径の16インチポーラスチャックの試作も完了し、次世代大口径ウェハーへの対応も行っています。 |
・ワークを吸着固定して高速で回転させるためのポーラスチャック
| ワークを吸着固定して高速で回転させるためのポーラスチャックです。
高速で回転させるために軽く作る必要があるためボディの材質はアルミニウムを使用しています。
また、腐食防止のために表面はアルマイト処理などの表面処理を施しています。 |
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