ポーラスチャックは高精度な吸着面を実現した真空吸着テーブルです。

FAQ

ポーラスチャックに関するご質問一覧

セラミックポーラスを金属にはめ込み、負圧を利用してワークを吸着固定するテーブルです

セラミック多孔質焼結体のことでセラミック粒子を高温で焼き固めたものです。砥石をイメージしていただくとわかりやすいと思います。
通気性がありますのでこの性質を利用してフィルターやポーラスチャックの吸着面などに応用されています。

薄いワークを変形させることなく、一様な負荷で全面吸着させることが可能です。

半導体分野で多く使用されています。特にダイシングソー・ボンディングマシン・テープマウンターなどでシリコンウェハーを吸着固定する目的で使用されています。その他の分野でも、顕微鏡に搭載したり、検査機器などで使用されています。

丸は6 , 8 , 12inch、角はもちろん、それ以外のサイズや形状でも対応いたします。

材質や形状によって変わってきますので一概に言うことは出来ませんが、参考値としてステンレスの場合をあげると 6 inch → 約2Kg、8 inch → 約3Kg、12 inch → 約8Kg 程度となります。

使用状況によって変わりますが、通常は60℃、耐熱タイプならば250℃程度まで使用可能です。

特に変わった形状や大きさではない場合、平面・平行度5μ以下まで可能です。ポーラスの径の大きさやボディの形状によっては平面・平行度3μ程度とすることも可能です。

何も載っていない部分のポーラス表面から吸引がリークしてしまう為、吸着力は低下します。何も載っていない部分をマスキングするなどしてポーラス全てを覆う事でポーラスチャックの機能が有効になります。

「このような事がしたい」と教えていただければ、弊社から提案し図面作成も行い、お客様と一緒に作り上げていきます。

[ポーラスチャック]+[真空発生器]+[コンプレッサー] or [ポーラスチャック]+[真空ポンプ]の順に接続して使用します。
当社では、手軽にポーラスチャックが扱えるように真空ポンプを内蔵した”自吸型ポーラスチャック”を開発いたしました。これを利用するとデスクの上に場所を取らずに置けるため手軽にワーク固定が行え、装置の取り回しも楽に行えるようになります。

ご心配ありません、当社スタッフがお客様からアイデアをインタビューしながらお客様の考えている”欲しいもの”を図面にしていきます。お客様はポンチ絵程度のものをご用意いただければ大丈夫です。

薄い平面形状の物の吸着に適しています。また、ワークを固定するのに機械的な機構を使用しない方法のため、ワークを固定冶具などで傷つけたくない場合などにも適しています。

当社へご相談ください。ポーラスチャック以外の用途でも加工やポーラス等のことでのご相談を承っております。

サンプルを貸し出すことが可能です。お客様から事前にある程度感触をつかみたいというご要望が多く寄せられています。そのため、当社ではサンプルとしてポーラスチャックや真空発生装置の貸し出しを行っています。

はい可能です。半導体分野ではシリコンウェハーを洗浄する装置などで使用されています。

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