ポーラスチャックは高精度な吸着面を実現した真空吸着テーブルです。

材質

材質

ポーラスの材質としてはアルミナセラミックとステンレス粒があり、ボディの材質としてはステンレス、アルミ、チタンがあり、これらは用途によって使い分けられます。

ポーラス材質 セラミックス メタル
カーボン
樹脂
アルミナ SUS316L
ガラス質
PE
焼結体密度(g/cm3) 2.1~2.3 4.2~5.2 0.98 0.51
気孔率(%) 45~50 36~48 45 35~55
使用温度(℃) ~1000 ~550 110
熱膨張(/℃) 7~8×10-6 1.6×10-5
引張強さ(MPa) 15~19 10~83
熱伝導率(W/mK) 5~9 15 1.0

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