ポーラスチャックは高精度な吸着面を実現した真空吸着テーブルです。

ボディ・周辺装置

ボディ形状

 

丸型形状 角型形状 異型状

ボディ材質

ステンレス アルミニウム チタン

 

ボディの構造・材質について

ボディの材質は、ステンレス、アルミ、チタンがあり、一般的にはステンレスが用いられますが、回転させる場合には重量が軽い慣性の少ないアルミを、高精度を求める場合、温度変化など環境による精度変化を抑えたい場合などのときはチタンを用います。ボディとはポーラスとともにポーラスチャックを構成する金属製の部品でこのボディにポーラスを貼ってポーラスチャックを構成します。

ボディの材質による特性 ボディには中心部または側面に真空ポンプにつながる穴があり、そこからポーラスとの狭間に溝を切って、真空を引いたときにポーラス全体を通してワークに負圧をかけます。

なお、ポーラスを貼りこんだテーブル面については数μ単位での精密な平面度が求められ、金属製のボディとポーラスの継ぎ目部分の段差は”0(ゼロ)”μmとなるよう仕上げています。ただし、ボディに表面処理を行った場合には表面を傷つけないために数μmの段差をつけます。

ボディとポーラスの接着について

ボディとポーラスの接着には接着剤が用いられます。
ヒーターテーブルなどの熱が加わる場合、耐熱性の接着剤が用いられます。

周辺装置、機器

ポーラスチャックへ負圧をかけるために真空発生装置とコンプレッサーまたは、真空ポンプが必要になります。

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