面発光ポーラスチャック
- ワークの吸着固定にバックライト機能を追加
- 点発光では無く全面での発光なので、明暗のバラつきが無い
従来のポーラスチャックは透過性がないため、顕微鏡に搭載してもバックライト機能が使用できません。
そこで、ポーラスチャック内部にLEDを内蔵させ、ポーラス表面を発光させることにより、ワークを吸着した状態でバックライト機能を持たせたポーラスチャック(面発光ポーラスチャック)を開発いたしました。
これを用いれば、リードフレームの貫通穴などの検査が容易に行うことができるようになりました。明るさも最大10万ルクスまで調光可能なため、任意の明るさでご使用いただけます。
ホットバキュームチャック(HoVaC)
- ポーラス上面温度250℃までの加熱が可能
- ±2℃の温度分布を実現(吸着エリア部)
従来のポーラスチャックにヒーターを組み込むことにより、吸着した状態でワークを加熱することが可能になりました。非吸着状態で加熱を行うと、薄いワークは変形を起こします。ポーラスチャックで吸着した状態で加熱を行うことにより、変形を抑えることができます。
ヒーターもカスタマイズ設計するため、安定した温度分布が得られます。
ファインポーラスチャック
- ポーラス面を全面覆わない、部分的な吸着が可能
- 数μｍの板厚の極薄ワークの吸着固定が可能
従来品のポーラスに比べ、緻密なポーラス(平均気孔径2μｍ)を使用したポーラスチャックです。従来のポーラスではポーラス全面を覆わないとエアーが漏れてしまい、十分な吸着力が得られませんでした。
今回製作したファインポーラスチャックは緻密なポーラスなため、エアーの漏れが起きづらく部分的な吸着でも固定力が落ちません。様々なワークを吸着したい際に、万能にご使用いただける製品です。
自吸型ポーラスチャック
- ポンプ内蔵なので単独使用が可能
- 業場所の省スペース化が図れる
- 電池駆動なので、持ち運びが容易
従来のポーラスチャックは本体と真空ポンプが必要で実験や検査等で手軽にデスクの上でワークを吸着固定してみることがなかなか出来ませんでした。そこで吉岡精工では真空ポンプを内蔵したポーラスチャック(自吸型ポーラスチャック)を開発しました。
これを用いれば本体のみでワークを吸着固定が出来るようになり、狭いデスクの上でも場所を取らずに実験や検査を手軽に行うことが出来るようになります。
カーボンポーラスチャック
- 導電性を持っているので帯電しにくい
- ガラス状カーボンという特殊素材のため吸着面が滑らか
標準のポーラスチャックは、アルミナポーラスを使用しているため、ポーラスは絶縁体です。絶縁体のためワークへの帯電が問題となる場合があります。そこで導電性をもったカーボンポーラスを使用することにより、ポーラス表面に帯電除去性能を持たせることが可能となりました。
その他、導電性が得られることにより、プローブテスター用のチャックなどにも応用されています。
丸型ポーラスチャック
- 全自動半導体構造装置（主にダイシングソー）に使用されるポーラスチャック
全自動半導体製造装置(主にダイシングソー)に使用されるポーラスチャックです。”ウェハーの取り出し→アライメント→切断→洗浄/乾燥→ウェハーの収納”までの工程を全自動で行うタイプのダイシングソーなどで使用されます。
洗浄や乾燥工程でウェハーをポーラスチャックごと回転させるためポーラスチャック外周には余計な突起などは付いていません。
ヒーターテーブル
- 主に半導体製造のボンディング工程で使用されるポーラスチャック
ボンディング工程では高温での使用になるため、その環境に耐えられるよう製作されています｡
メタルポーラス仕様ポーラスチャック
- 耐久性のあるメタルポーラス
ポーラス(多孔質体)にメインテナンスしやすく、耐久性のあるメタルポーラスを使用したポーラスチャックです。
スピンナーテーブル
- ワークを吸着固定して高速で回転させるためのポーラスチャック
ワークを吸着固定して高速で回転させるためのポーラスチャックです。
高速で回転させるために軽く作る必要があるためボディの材質はアルミニウムを使用しています。
また、腐食防止のために表面はアルマイト処理などの表面処理を施しています。
