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超微細ポーラスが実現する
最高精度のワーク作業環境Highest precision work environment realized by ultra-fine porous
Produced by 吉岡精工 -
ポーラスチャックとは？
ポーラス(多孔質体)と吸引による負圧を利用して薄いモノを高精度・平面に吸着固定する製品です
ポーラスチャックの多くはダイシングソーをはじめ各種半導体製造装置や検査装置に組み込まれます
シリコンウェハはもちろん、近年ではフィルムやフレキシブル基板(FPC)、紙などありとあらゆる薄物ワークの吸着固定を実現します
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一般的にはスポンジのように連続した細かい孔が無数に空いている材料のことを言います。当社のポーラスはアルミナやステンレス等の細かい粉体を通気性を持たせつつ焼き固めたものであり用途に応じた粗さ(気孔径)で製作が可能です。
ポーラス拡大図
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ポーラスチャックはポーラスとポーラスをはめこむボディで構成されます。それぞれの材質、形状はお客様のご要望・用途をヒアリングし最適な仕様にてご提案致します。
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穴や溝加工の真空チャックでは、薄いワークを吸着すると変形してしまいますが、ポーラスチャックは全面で吸着するため薄いワークも変形なく保持できます。
伝統の技術と革新的なアイデアを
融合したモノづくり
創業より60年以上に渡り培ってきた自社工場での確かな技術により、ミクロンオーダーでの高精度加工、お客様のご要望の図面・形状にて一品から製作します。図面がない場合でもご相談いただければ当社で図面化のうえ製作可能です
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高精度・高品質
技能士資格保持者50％以上
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オーダーメイド生産
自社工場・自社設計
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豊富な採用実績
取引社数1000社以上
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1.ポーラスを選ぶ
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材質
- アルミナセラミック
- 標準的な仕様。加工精度・気孔の均一性・コストパフォーマンスに優れる。色の選択が可能
- SiC（炭化ケイ素）
- 静電気対策に使用 (体積抵抗率:107Ω・cm)
- SUS（ステンレス）
- 導通体のポーラス
- 樹脂
- 吸着ワークへのダメージが少ない柔らかい素材
- ポーラス物性値表
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気孔径
- 2μm~約230μm対応
- 代表例は55μm(標準)120μm,10μm,2μm。粗いと通気性が上がり吸着力が強くなるが、エアー漏れによる吸着力の低下が大きくなる。細かいとポーラス面を全面覆わない部分吸着が可能、かつ、より薄いワークの吸着も可能
色
- アルミナセラミックポーラスのみ選定が可能。黒（標準）や白、濃紺、青、茶色などがある
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2.ボディを選ぶ
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材質
- SUS(ステンレス)
- 高剛性、高精度な加工が可能。コストパフォーマンスに優れる。
代表例:SUS303、SUS430、SUS440C、等 - アルミニウム
- 軽量化が可能
代表例:A5052、A5056、A6061、A7075 - セラミック
- 軽量、かつ高精度な加工が可能
代表例:アルミナセラミック、SiC
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表面処理
- ・各種アルマイト処理
- ・フッ素樹脂コーティング
- ・低温黒色クロム処理
- ・無電解ニッケルメッキ
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3.形状をデザインする
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形状
- 丸型
- φ5mm~φ500mm
- 角型
- □5mm~□500mm
- ※ 吸着ワークの形状や仕様などに合わせ、都度 カスタム対応が可能。ご要望の形状イメージから設計・製図の上でご提案。
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スタンダード仕様
スタンダード仕様のポーラスチャック。コストパフォーマンスに優れ、短納期での対応が可能。
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ポーラス平均気孔径:55μm
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ポーラス材質:アルミナセラミック
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ボディ材質:SUS
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ファインポーラスチャック
緻密な気孔径のポーラスを選定。フィルムなど極薄ワーク への対応やポーラス全面を覆わない部分吸着力に優れます。
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ポーラス平均気孔径:2μm
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ポーラス材質:アルミナセラミック
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帯電除去素材
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SiCポーラスチャック
帯電除去可能なポーラス材(体積抵抗率:約107Ω・cm)を使用。静電気対策に最適なポーラスチャックです。
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選定可能気孔径:10~230μm
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ポーラス材質:SiC(炭化ケイ素)
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帯電除去素材、傷に強くレーザー加工に最適
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硬質アルマイト(アルミボディ)
ポーラスチャックアルミボディに厚膜の硬質アルマイト処理を施した仕様。 スタンダード仕様と比較し軽量化を実現。
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ボディ材質:アルミ
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搬送、検査、稼働ステージへの搭載に最適
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セラミックボディ
ポーラスチャックボディにセラミックを採用し、高精度・軽量化を両立したポーラスチャックです。
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ボディ材質:アルミナセラミック
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金属素材は不使用
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熱膨張係数が低いため加熱用途に最適
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メタル
ポーラスチャックSUS素材のポーラスを選定することで、ワークとポーラス間で導通をとることができます。
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選定可能気孔径：100 or 120μm
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ポーラス材質：SUS316L
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HoVaC
(ホットバキュームチャック)ヒーターを内蔵することにより、最大250°Cまでの加熱機能 を追加したポーラスチャック。吸着と加熱を同時に可能です。プレート状の部品の積層構造となっており、加熱時の熱変形を最小限に抑える工夫を施しています。
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選定可能気孔径:2μ m~230μm
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ポーラス材質:アルミナセラミック or SiC
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ボディ材質:SUS(~100°C)、アルミナセラミック(~250°C)
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温度分布:±2°C(仕様による)
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サイズ:φ100~φ400、□100~□400
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ヒーターの種類や配線パターンのカスタマイズ対応
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面発光ポーラスチャック
光源を内蔵することにより、発光機能を追加したポーラスチャックです。点発光でなく全面発光となり多層ウェハの内部パターン検査や、検査ワークのエッジ検査の精度向上などに貢献します。
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選定可能気孔径:120μm
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ポーラス材質:アルミナセラミック (白のみ)
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ボディ材質:SUS
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光量:~10万ルクス(ポーラス表面での測定値)
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サイズ : ~ φ200 □200
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半導体分野
ボンディング
ダイシング
テープマウント
ポリッシングなど
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印刷分野
スクリーン印刷
製紙製造
塗布検査
画像測定
インクジェット印刷など
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ＬＥＤ分野
成形
研削
切断
樹脂封止など
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食品分野
食品の吸着搬送
食品梱包など
食品散布
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その他製造分野
金属加工
機械加工
レーザー加工など
- 大宮工業株式会社
- キヤノン株式会社
- 芝浦メカトロニクス株式会社
- ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング株式会社
- タツモ株式会社
- TDK株式会社
- 株式会社ディスコ
- 株式会社テセック
- 浜松ホトニクス株式会社
- 株式会社村田製作所
- ヤマハ発動機株式会社
- ローム株式会社
貸出サンプル
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丸型ポーラスチャック
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ポーラス仕様 サイズ（mm） 素材 色 平均気孔径（μm） φ6 アルミナセラミック 黒 55 φ10 アルミナセラミック 黒 55 φ152 アルミナセラミック 黒 55,10 φ200 アルミナセラミック 黒 120,55,10,2 φ200 炭化ケイ素 濃紺 55 φ303 アルミナセラミック 黒 55 ■ シリコンウェハの各サイズから小さなチップサイズにも対応可能です
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角型ポーラスチャック
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ポーラス仕様 サイズ(mm) 材質 色 平均気孔径(μm) 50×50 アルミナセラミック 黒 55,2 120×160 アルミナセラミック 黒 55 210×297 アルミナセラミック 黒 2 ■ フィルムや薄いシート、紙等の吸着評価に最適です
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HoVaC(ホットバキュームチャック)
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ポーラス仕様 サイズ（mm） 素材 色 平均気孔径（μm） φ200 アルミナセラミック 黒 55 φ300 アルミナセラミック 黒 55 ヒーター仕様 定格電圧 出力 最大加熱温度 200V 800W 200°C 200V 900W 200°C ■ 加熱+吸着固定の評価が可能なポーラスチャックです
■ 別途付属の温調コントローラーに配線し、200℃までの温度調整が可能です
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面発光ポーラスチャック
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ポーラス仕様 サイズ(mm) 材質 色 平均気孔径(μm) φ150 アルミナセラミック 白 120 ■吸着面がバックライトのように発光するポーラスチャックです
■別途付属の調光器に配線し光量の調整が可能です
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真空ポンプ
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能力 メーカー 型式 流量(L/min) 真空到達圧(kPa) 定格電圧 日東工器 VP0940 60 -53.3 AC100V アルバック DOP-80S 80 -96.0 AC100V お客様にて真空源のご用意が無い場合はセットで貸出が可能です
各製品、ポーラス仕様についての詳細は製品情報ページも御覧くださいご紹介したサンプルは一例です。その他にも様々な仕様をラインナップしておりますのでお問い合わせ下さい。
即納品に対するお客様の評価
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納期が長期化している中、支払いから納入まで1週間以内に対応して頂き本当に助かりました。今後、バリエーションが増えることを期待しています。
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早いだけでなくリーズナブルな価格も魅力だと思います。また機会があれば購入したいと思います。
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迅速にご対応頂き有難うございました。早速社内で使用しましたが、特に問題なく使うことができました。即納チャックに感謝します。
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こちらのポーラスチャックを初めて購入させていただきましたが、すばやく丁寧な対応で大変助かりました。機会があればカスタマイズ仕様品も購入したいと思います。
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丸型ポーラスチャックを購入しました。注文後、翌日出荷してもらい、大変助かりました。次回もリピートしたいです。
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Comming Soon...
最高のパフォーマンスを継続
万全のアフターサポートを確立
当社は、お客様がポーラスチャックを長期にわたって愛用していただくため、アフターサポート体制を確立しています。 万が一の製品の修理やトラブルのご対応は、スピーディに行います。また、メンテナンスにも対応しています。状況に応じて①洗浄、②再研磨、③貼り替えの３つの方法があり、ポーラス表面に付着するゴミや汚れ、ポーラスへの傷の除去が可能です。
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①洗浄
定期的な洗浄を行うことで、ゴミやホコリによる目詰まりを防止します。
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②再研磨
浅い傷の除去や長期間の使用により劣化した表面精度の復旧が可能です。
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③貼り替え
洗浄、再研磨では解消できないポーラスの大きな破損や目詰まりを新品同様に復元することが可能です。
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ポーラスとは何ですか?
多孔質体のことを示します。セラミック粒子を焼結し、 連続した通気性のある素材を示します。(軽石やスポンジの断面をご想像ください)
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ポーラスチャックを使用するメリットは何ですか?
保持しにくい紙やフィルムを 変形なく吸着固定できます。加工や搬送用途でご使用いただいています。
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形状は自由に設計することが可能ですか?
弊社ではすべてお客様の要望を反映し 設計するカスタム品となります。
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図面が無いのですが、現品のみから製作可能でしょうか?
ポンチ絵から当社で設 計可能です。現品を借用できれば、当社で図面化も致します。
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カタログ品はあるのでしょうか?
一部即納品としてご準備しています。詳しくは こちらをご参照ください。
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ポーラスの気孔径(番手)を選ぶことはできますか?
標準の気孔径は 55μm(#240)です。そのほかに2~230μmまで選定が可能です。
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ポーラスの色を選ぶことができますか?
標準色は黒色です。そのほかに白色 や茶色を選択可能です。
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帯電防止機能はありますか?
アルミナポーラスは絶縁体ですが、SiCポーラスを用 いることで、帯電防止機能を持たすことが可能です。
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表面処理は可能ですか?
ボディ側に表面処理を施すことが可能です。材質により 施工可能な処理が異なりますので、ご相談ください。
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耐熱温度は何度ですか?
ポーラスチャックは常温仕様と高温仕様の2種類御座 います。高温仕様は最大250°Cの環境下でご使用いただけます。
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ポーラスチャックの重さを教えてください。
形状や仕様により大きく異なります。参考値としてステンレスボディで製作した場合、8inch:約5kg、12inch:約10kg です。
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吸着力を教えてください
8inch全面吸着時で、約2,000Nの吸着力があります。吸着ワ ークの平面状態により異なりますので、参考値としてお考え下さい。
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サンプル品はありますか?
最⻑2週間のお貸出しが可能です。(無償)
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真空ポンプの貸し出しもありますか?
ポーラスチャックサンプルと合わせてお貸出し可能です。
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価格・納期を教えてください。
仕様により大きく異なります。詳しくはこちらからお問い合わせ下さい。
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打合せを希望します。
本社横浜工場から全国へ訪問しご説明可能です。ご希望があればweb会議も対応致します。
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指定代理店はありますか?
特に指定は御座いません。直接のご販売も可能です。
| アルミナセラミック | アルミナセラミック(2μm) | SiC | SUS | 樹脂 | |
| 材質 | アルミナ | アルミナ | 炭化ケイ素 | SUS316L | ポリエチレン |
| 焼結体密度(g/cm3) | 2.1~2.3 | 2.5~2.7 | 2.1~2.3 | 4.2~5.2 | 0.51 |
| 空隙率(%) | 45~50 | 40 | 45~50 | 36~48 | 35~50 |
| 熱膨張係数(/°C) | 7~8×10-6 | 7~8×10-6 | 4~5×10-6 | 1.6×10-5 | - |
| 熱伝導率(W/mK) | 4.7~5.8 | 1 | 8.1~9.3 | 15 | - |
| 引張強度(MPa) | 14.7~19.6 | - | 14.7~19.6 | 9.8~83.4 | - |
| 曲げ強度(MPa) | 29.4~49.0 | 50 | 29.4~49.0 | - | 4.6 |
| 表面抵抗(Ω/sq) | 1013~1014 | 106~109 | ~107 | - | - |
